电子特种气体是电子工业生产制造过程中的关键材料,在集成电路、显示面板、LED、太阳能电池等新兴产业快速发展的背景下,电子特气需求保持高速增长。大连科利德半导体材料股份有限公司(以下简称“科利德”)是一家主要从事电子特种气体及半导体前驱体材料的研发、生产和销售的电子特气供应商,于今年6月提交IPO申报材料,拟在科创板上市。
从科利德二十余年的发展历程中,可以看到国内电子特种气体企业通过不断提升研发投入,实现产品、技术上的突破,完成部分产品国产替代,部分国产产品相关指标参数达到国际先进水平的奋斗缩影。尽管,科利德已成为国内少数自产产品能涵盖沉积、刻蚀、掺杂、离子注入、清洗等关键制造工艺环节的电子特气本土厂商,但面对下游行业工艺不断演进、产品快速迭代,对高纯半导体材料的品质要求日趋严格的情况,科利德不断完善制备技术,助力新兴产业升级发展。
电子特种气体种类繁多,下游应用领域对电子特种气体的产品纯度、混配精度、金属杂质等要求不一。通常情况下,各下游应用领域对电子特种气体产品品质的要求从高到低,依次为集成电路、新型显示、LED、光伏。在集成电路、新型显示等先进工艺领域,即使是百万分之一的杂质,也可导致产品缺陷,进而严重影响产品性能。科利德拥有完善的研发体系,以行业技术发展和市场需求为方向,聚焦新产品、新工艺、新技术、新标准的创新升级,并通过技术改进提升产品等级。
目前,下游应用领域对电子特种气体纯度要求通常达到4N、5N甚至6N、7N,纯度每提升1N,杂质含量浓度每降低一个数量级,都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。目前,科利德已实现了7N5级超纯氨、6N5级高纯三氯化硼、6N级高纯氧化亚氮等产品的产业化。
随着集成电路、新型显示等领域的不断发展,电子特种气体的品种也与日俱增,市场需求促进气体合成技术、纯化技术和混配技术的不断发展,科利德将推动更多品种、品类的电子特种气体产品走向市场,形成“一站式采购”综合产品供应能力,成为业内领先、全方位发展的电子特种气体及半导体前驱体材料的供应商。
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